질량유량센서 및 이것을 이용한 질량유량계

Mass flow sensor and mass flowmeter comprising the same

Abstract

(과제) 소비전력이 작음과 아울러, 기동시의 특성이나 응답성이 우수한 질량유량센서 및 이것을 이용한 질량유량계를 제공하는 것을 과제로 한다. (해결수단) 본 질량유량센서는 반도체 기판(1), 절연박막(2), 히터(311, 312), 온도측정저항체(321,322) 및 보호층(4)을 구비한다. 히터(311,312)는 절연박막(2)의 표면에 형성되며, 각각 유로의 상류 및 하류가 되도록 인접하게 배치된다. 또, 히터(311,312)의 하측은 공동(5)으로 되어 있어 다른 부위와 열적으로 절연되어 있다. 온도측정저항체(321,322)는 절연박막(2)의 표면에 형성되어 있으며, 유로에 대해서 일렬로 되도록 히터(311,312)의 양측에 배치되어 있다. 이와 같은 질량유량센서 및 이것을 이용한 질량유량계는 능동 소자인 각 히터(311,312)만에 의해서 유체의 유속과 방향을 구할 수 있기 때문에, 유속 변화에 대한 응답이 빠른 것으로 할 수 있다.
PURPOSE: A mass flow sensor and a mass flow controller are provided to reduce power consumption and improve response property and characteristics. CONSTITUTION: A mass flow sensor is composed of a semiconductor substrate having a space part comprising a cavity(5), a notch and/or a concave part; an insulating film(2) supported by the semiconductor substrate to thermally and electrically insulate electricity; two heaters(311,312) formed at the space part on the insulating film; two resistance temperature detectors(321,322) formed at the part which is thermally insulated with each heater on the insulating film; and a protecting layer formed on the insulating film, the heater, and the resistance temperature detector.

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    KR-101250052-B1April 02, 2013국민대학교산학협력단, 주식회사 경동에버런Sensor of flux and using flow meter thereof
    WO-2013009152-A1January 17, 2013주식회사 경동에버런유량 센서 및 이를 이용한 유량계