Positioning apparatus and positioning method

위치결정장치 및 위치결정방법

Abstract

PURPOSE: To provide a positioning device and method capable of positioning an object much more rapidly. CONSTITUTION: In the positioning device and method which move an object to a desired position, the object is moved at a desired velocity and acceleration, the acceleration/deceleration time of the object and the staring timing of deceleration are adjusted according to the vibration period of the remaining vibration occurring immediately after the object is positioned for canceling the remaining vibration.
본 발명은, 위치결정대상을 종래보다 한층 고속으로 위치결정할 수 있는 위치결정장치 및 위치결정방법을 실현하고자 한 것이다. 위치결정대상을 소망위치에 이동하는 위치결정장치 및 위치결정 방법에 있어서, 위치결정대상을 소망의 속도 및 가속도로 이동시키고, 당해 위치결정대상의 위치결정 직후에 생기는 잔류진동의 진동주기에 따라서, 당해 잔류진동을 취소하도록 당해 위치결정대상의 가감속시간 및 감속개시의 타이밍을 조정하도록 했다.

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