Bubble removing device for removing bubbles in chemicals and bubble removing method using the same

화학용액 내에 포함된 기포를 제거하기 위한 기포제거장치및 이를 이용한 기포제거방법

Abstract

본 발명은 웨이퍼 상면에 대응하여 포토레지스트 또는 불필요한 포토레지스트를 제거하기 위한 현상액 등의 화학용액을 공급함에 있어서, 이들 화학용액 내에 포함된 기포를 제거하기 위한 기포제거장치 및 이를 이용한 기포제거방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기포제거장치는 화학용액이 담기는 탱크, 탱크의 일측에 연결되어 화학용액을 유입시키는 화학용액 유입관 및 제1 밸브, 화학용액 내의 기포를 가압하여 제거할 수 있도록, 탱크의 상면에 연결되어 기포제거용 가스를 주입시키는 가스 봄베, 가스 주입관 및 제2 밸브, 탱크의 타측 상부에 연결되어 기포제거용 가스를 배출시키는 가스 배출관 및 제3 밸브, 및 탱크의 타측 하부에 연결되어 기포가 제거된 화학용액을 배출시키는 화학용액 배출관 및 제4 밸브를 포함한다. 본 발명에 따르면, 화학용액 내에 포함된 기포를 화학용액 상단에 모이게 한 후, 기포제거용 가스로 가압하여 제거한다. 따라서, 기포로 인한 화학용액 공급 배관의 압력 변화 및 화학용액의 유량 변화를 방지할 수 있다.
PURPOSE: An apparatus for removing bubbles in a chemical solution is provided to keep the pressure of a pipe for delivering the chemical solution uniform and maintain the outflow of the chemical solution uniform by effectively eliminating the bubbles remaining in the chemical solution. CONSTITUTION: The chemical solution is contained in a tank(160). The chemical solution is introduced to a chemical solution introducing pipe(165) and the first valve(167) that are connected to one side of the tank. A gas bomb(178), a gas injection pipe(170) and the second valve(175) are connected to the upper surface of the tank to inject the gas for removing the bubbles so that the bubbles in the chemical solution is pressurized and eliminated. A gas exhausting pipe(180) and the third valve(185) exhaust the gas for removing the air valve, connected to the upper portion of the other side of the tank. A chemical solution exhausting pipe(190) and the fourth valve(195) exhaust the chemical solution from which the bubbles is removed, connected to the lower portion of the other side of the tank.

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    KR-101397446-B1May 21, 2014엘지디스플레이 주식회사액정표시장치용 약액 공급시스템 및 약액 공급방법